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硅常被吹捧为地壳中含量第二丰富的元素。然而,当考虑到制造半导体晶圆所需的高纯度二氧化硅的丰度时,这可能会产生误导。

为了用于制造半导体,天然二氧化硅的纯度需要达到什么水平?它在地壳中的含量有多少?

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2答案2

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引用自:Haus R., Prinz S., Priess C.(2012)高纯石英资源的评估。参见:Götze J., Möckel R.(编)石英:矿床、矿物学和分析。施普林格地质学。b施普林格,柏林,海德堡。https://doi.org/10.1007/978-3-642-22161-3_2

为了用于制造半导体,天然二氧化硅的纯度需要达到什么水平?

尽可能高。

…高纯度石英,总杂质水平低于20ppm…

20 PPM意味着二氧化硅的纯度必须达到99.998%。在自然界中很难找到如此纯净的二氧化硅。

更具体地说:

关于可容忍限值的具体要求因行业而异。在灯管和光学工业中,精炼石英精矿中的铝含量不应超过20ppm,其他金属含量应低于1ppm,总杂质含量应低于30ppm。对于半导体基材和坩埚,铝的含量应更低,规定低于10ppm,其他金属低于0.1 ppm,总杂质不超过15ppm。

光伏工业中使用的太阳能硅原料的硼和磷含量通常应该在ppm以下,因为这些元素最难去除,而且会对太阳能电池的性能产生负面影响(Geerligs等人,2002年)。

对于微电子应用,例如在环氧树脂成型化合物中,铀和钍,两者都负责α辐射的软误差,应小于2 ppb,在低α应用中,甚至小于0.5 ppb。

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    二氧化硅是二氧化硅,沙子是它最丰富的可用来源。“化石沙”包含各种其他岩石和碎化石等。地球上最丰富的两种岩石,花岗岩和玄武岩。但石英是最丰富的来源,总纯度为90%以上。

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